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Full-field heterodyne interferometry using a complementary metal-oxide semiconductor digital signal processor camera for high-resolution profilometry

机译：使用互补金属氧化物半导体数字信号处理器相机进行高分辨率轮廓测定的全场外差干涉法

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作者
Aguanno, Mauro V.; Lakestani, Fereydoun; Whelan, Maurice P.; Connelly, Michael J.;
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作者单位

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年度 2007
总页数
原文格式 PDF
正文语种 eng
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